面向后摩尔时代微电子与光电子的发展需求,中国科学院微电子所基于 8 英寸 CMOS 工艺线开发国内首个具有完整硅光工艺流片能力的 8 英寸硅光 平台。
面向后摩尔时代微电子与光电子的发展需求,中国科学院微电子所基于8 英寸 CMOS 工艺线开发国内首个具有完整硅光工艺流片能力的 8 英寸硅光平台。
▲IMECAS 硅光平台组成