2021-10-15
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中科院微电子所硅光平台已成功开发了一系列硅光流片工艺模块、标准工艺流程和PDK。其中,标准单元库主要包括矩形波导、脊形波导、MMI、Y-分支、光交叉器、AWG、光栅耦合器等无源器件,有源器件实现了40Gbps的锗探测器和调制器,如图1和表1所示。自2017年5月发布以来,该平台已完成多批次MPW和客户定制流片服务,器件性能达到国际代工平台水平,得到了业内人士的一致认可。
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