中科院微电子所硅光平台已成功开发了一系列硅光流片工艺模块、标准工艺流程和PDK

中科院微电子所硅光平台已成功开发了一系列硅光流片工艺模块、标准工艺流程和PDK。其中，标准单元库主要包括矩形波导、脊形波导、MMI、Y-分支、光交叉器、AWG、光栅耦合器等无源器件，有源器件实现了40Gbps的锗探测器和调制器，如图1和表1所示。自2017年5月发布以来，该平台已完成多批次MPW和客户定制流片服务，器件性能达到国际代工平台水平，得到了业内人士的一致认可。